Strukturierungsvorrichtung und Verfahren zur Verwendung davon

EP3921700 Art B1 1. Januar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3921700
Aktenzeichen
EP20700180
Anmeldetag
2. Januar 2020
Veröffentlichung
1. Januar 2025
Erteilung
1. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/32G03F1/24G03F1/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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