Halterung eines Optischen Elements

EP3921702 Art A1 15. Dezember 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3921702
Aktenzeichen: EP20704480
Anmeldetag: 5. Februar 2020
Veröffentlichung: 15. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/02G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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