Auf Leitfähigkeit Beruhende Selektive Ätzung für Gan-Vorrichtungen und Anwendungen davon

EP3923352 Art A1 15. Dezember 2021

Anmelder: Yale University, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3923352
Aktenzeichen
EP21174206
Anmeldetag
27. Januar 2011
Veröffentlichung
15. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L33/16H01L33/32H01L21/02H01L21/306H01L21/3063H01L21/78H01L21/20C25B1/55C25B1/04C25F3/12C30B29/40C30B33/10G02B1/02G02B1/118
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Yale University, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Yale University

US-amerikanische private Forschungsuniversität in New Haven, Connecticut, gegründet 1701.

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Kanzlei
ZSP Patentanwälte PartG mbB München, Deutschland

Geht auf die 1992 gegründete Kanzlei Dr. Volker Vossius zurück, firmiert seit 2015 als Zwicker Schnappauf & Partner, mit Standorten in München und Berlin. Schwerpunkt auf Biotechnologie, Chemie, Medizintechnik und Pharmazie, Website in sechs Sprachen abrufbar.

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