Verfahren zur Herstellung einer Mikroelektronischen Vorrichtung mit einer Membran, die über einen Hohlraum Gespannt Ist
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3925930
- Aktenzeichen
- EP21179985
- Anmeldetag
- 17. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 15. März 2023
- Erteilung
- 15. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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