Vakuumpumpe
EP3926174
Art B1
14. Juni 2023
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3926174
- Aktenzeichen
- EP21182566
- Anmeldetag
- 29. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2023
- Erteilung
- 14. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D27/02
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, wobei ein Sensor zur Erfassung eines Magnetfelds vorgesehen ist, welcher mit einer Steuer- und/oder Auswerteeinheit verbunden ist, wobei die Steuer- und/oder Auswerteeinheit dazu ausgebildet ist, das erfasste Magnetfeld auszuwerten und auf der Basis der Auswertung in Abhängigkeit von zumindest einer Bedingung eine Maßnahme zu ergreifen.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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