Vakuumpumpe mit Wälzlager

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3926175

Aktenzeichen

EP21182960

Anmeldetag

30. Juni 2021

Veröffentlichung

7. August 2024

Erteilung

7. August 2024

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/059F04D29/063F16C19/06F16C19/16F16C33/58F16C33/66

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor und mindestens einem mit einem Schmiermittel geschmierten Wälzlager zur Lagerung des Rotors, wobei das Wälzlager einen Außenring und einen Innenring sowie zwischen dem Außenring und dem Innenring gelagerte Wälzkörper, insbesondere Kugeln, umfasst, wobei auf einer Innenseite des Außenrings und einer Außenseite des Innenrings jeweils eine in Umfangsrichtung umlaufende Abwälzfläche für die Wälzkörper ausgebildet ist, und wobei mindestens ein Durchgang zum Abführen des Schmiermittels vorgesehen ist, welcher sich von der an dem Außenring ausgebildeten Abwälzfläche zur Außenseite des Außenrings erstreckt, und/oder wobei an der Innenseite des Außenrings und/oder an der Außenseite des Innenrings zumindest auf einer Seite der jeweiligen Abwälzfläche eine von der Abwälzfläche weg nach radial außen führende Ablauffläche für das Schmiermittel ausgebildet ist, und/oder wobei die Innenseite des Außenrings und/oder die Außenseite des Innenrings zumindest bereichsweise eine hydrophile Oberflächenbeschaffenheit und/oder zumindest bereichsweise eine hydrophobe Oberflächenbeschaffenheit aufweist.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete