Optimiertes System und Verfahren zum Transportieren und Bewegen von Substraten in einer Modularen Beschichtungsanlage
EP3927865
Art A1
29. Dezember 2021
Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3927865
- Aktenzeichen
- EP20709130
- Anmeldetag
- 20. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.
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