Optimiertes System und Verfahren zum Transportieren und Bewegen von Substraten in einer Modularen Beschichtungsanlage

EP3927865 Art A1 29. Dezember 2021

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3927865
Aktenzeichen
EP20709130
Anmeldetag
20. Februar 2020
Veröffentlichung
29. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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