Zusammensetzungen und Verfahren zur Ablagerung von Kohlenstoffdotierten Siliciumhaltigen Filmen

EP3929326 Art A3 16. März 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3929326
Aktenzeichen: EP21192244
Anmeldetag: 1. Juni 2012
Veröffentlichung: 16. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30C07F7/00C07F7/08C23C16/34C23C16/40C23C16/455C07F7/10C07F7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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