Elektrodensubstrat, Messvorrichtung, Entfernungswerkzeug und Messverfahren

EP3933026 Art A1 5. Januar 2022

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3933026
Aktenzeichen: EP20762477
Anmeldetag: 10. Januar 2020
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C12M1/34C12Q1/02G01N27/04G01N33/483

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Pharma & Biotechnologie

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