Fotomaskenrohling und Herstellungsverfahren dafür

EP3933504 Art B1 31. Januar 2024

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3933504
Aktenzeichen: EP21180711
Anmeldetag: 21. Juni 2021
Veröffentlichung: 31. Januar 2024
Erteilung: 31. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/26G03F1/32G03F1/54G03F1/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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