Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenverarbeitung

EP3933882 Art A1 5. Januar 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3933882
Aktenzeichen: EP20183384
Anmeldetag: 1. Juli 2020
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/455H01L21/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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