Trockenätzverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Ätzvorrichtung
EP3933892
Art A1
5. Januar 2022
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3933892
- Aktenzeichen
- EP20765588
- Anmeldetag
- 19. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213C23F1/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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