Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung einer Probe mittels Elektronenrückstreuungsdiffraktion

EP3935373 Art B1 28. Februar 2024

Anmelder: VG Systems Limited, FEI COMPANY 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3935373
Aktenzeichen: EP20706556
Anmeldetag: 3. März 2020
Veröffentlichung: 28. Februar 2024
Erteilung: 28. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/20058G01N23/203

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: VG Systems Limited
FEI COMPANY
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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