Auf Photonischer Hohlkernkristallfaser Basierender Breitbandstrahlungsgenerator mit Verlängerter Faserlebensdauer

EP3936936 Art A1 12. Januar 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3936936
Aktenzeichen
EP20184730
Anmeldetag
8. Juli 2020
Veröffentlichung
12. Januar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/355G02F1/383
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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