Verfahren zum Erzeugen eines Gasvorhangs aus Spülgas in einem Schlitzventiltunnel und Schlitzventiltunnel
EP3937219
Art B1
30. August 2023
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3937219
- Aktenzeichen
- EP20184139
- Anmeldetag
- 6. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 30. August 2023
- Erteilung
- 30. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K51/02H01L21/677H01J37/32F16K3/02H01L21/67C23C16/455// C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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