Ätzlösung und Verfahren zum Selektiven Entfernen von Siliciumnitrid Während der Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3938465 Art B1 9. Juli 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3938465
Aktenzeichen: EP20769016
Anmeldetag: 10. März 2020
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Erteilung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C09K13/06H01L21/311H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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