Strontiumtetraborat als Optisches Beschichtungsmaterial

EP3938766 Art B1 2. Juli 2025

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3938766
Aktenzeichen
EP20801978
Anmeldetag
6. Mai 2020
Veröffentlichung
2. Juli 2025
Erteilung
2. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/88G01N21/95G01N21/55G01B11/24H01L21/66B05D5/06C09D1/00C09D5/33G02B1/115G01N21/956G02B1/18G02B5/28G02B21/16G02F1/35G02F1/355G02B21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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