Strontiumtetraborat als Optisches Beschichtungsmaterial
EP3938766
Art B1
2. Juli 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3938766
- Aktenzeichen
- EP20801978
- Anmeldetag
- 6. Mai 2020
- Veröffentlichung
- 2. Juli 2025
- Erteilung
- 2. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01N21/55G01B11/24H01L21/66B05D5/06C09D1/00C09D5/33G02B1/115G01N21/956G02B1/18G02B5/28G02B21/16G02F1/35G02F1/355G02B21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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