Verbesserte Selbstmorierte Gitterkonstruktion zur Verwendung in der Metrologie
EP3938837
Art A1
19. Januar 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3938837
- Aktenzeichen
- EP20778397
- Anmeldetag
- 20. März 2020
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G02B27/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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