Verwendung von Absoluten Z-Höhenwerten zur Synergie zwischen Werkzeugen
EP3939071
Art A1
19. Januar 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3939071
- Aktenzeichen
- EP20787938
- Anmeldetag
- 6. April 2020
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/67G01B11/06G01B15/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank