Steuervorrichtung und Vakuumpumpe mit Dieser Steuervorrichtung

EP3940255 Art A1 19. Januar 2022

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3940255
Aktenzeichen
EP20774296
Anmeldetag
9. März 2020
Veröffentlichung
19. Januar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F16C32/04F04D19/04F16C33/74F04D29/058F04D27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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