Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Lateralen Tiefe einer Mikrostruktur

EP3940337 Art B1 10. Januar 2024

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3940337
Aktenzeichen: EP21183291
Anmeldetag: 1. Juli 2021
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Erteilung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/22G01B15/00G03F7/20H01L29/06H01L29/775// G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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