Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur

EP3940763 Art A1 19. Januar 2022

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3940763
Aktenzeichen: EP20185786
Anmeldetag: 14. Juli 2020
Veröffentlichung: 19. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8258H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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