Vorrichtung zur Plasmagestützten Chemischen Aufdampfung, die eine Beschichtung der Plattenränder Ermöglicht

EP3943639 Art A1 26. Januar 2022

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3943639
Aktenzeichen: EP21187013
Anmeldetag: 21. Juli 2021
Veröffentlichung: 26. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C16/509H01J37/32H01L21/673H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

Dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma sur des bords de plaques, comportant une enceinte (2) munie d'une ouverture, une porte (6)configurée pour fermer l'ouverture, des moyens (8.1) d'alimentation en gaz et des moyens d'évacuation (8.2) connectés à l'enceinte, un générateur électrique (8), une structure de suspension (S) d'au moins un premier empilement de plusieurs plaques à l'intérieur de l'enceinte, ladite structure (S) étant configurée pour que les plaques (P) soient alignées les unes par rapport aux autres, une circuit de connexion du premier empilement de plaques à une borne du générateur (8) de sorte à former une première électrode, le dispositif comportant au moins une deuxième électrode (56) disposée en regard d'un face du premier empilement et connectée à l'autre borne du générateur (8).

Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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