Euv-Pellikel und Verfahren dafür zur Befestigung auf einer Fotomaske

EP3944017 Art A1 26. Januar 2022

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3944017
Aktenzeichen: EP21186941
Anmeldetag: 21. Juli 2021
Veröffentlichung: 26. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.
Land: 🇹🇼 Taiwan

🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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