Ladungsteilchenvorrichtung und Einstellungsunterstützungsverfahren

EP3944284 Art A1 26. Januar 2022

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3944284
Aktenzeichen: EP21186404
Anmeldetag: 19. Juli 2021
Veröffentlichung: 26. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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