Methode zur Bestimmung der Elastischen Eigenschaften einer Dünnschicht durch Beugung von Röntgenstrahlen

EP3945308 Art A1 2. Februar 2022

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3945308
Aktenzeichen: EP21187602
Anmeldetag: 26. Juli 2021
Veröffentlichung: 2. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2055G01N23/207G01L1/25G01B15/04G01B15/06

Offizieller Volltext

Abstract

Procédé de détermination du module élastique E et du coefficient de poisson v d'un film mince (E) formé sur un substrat (S), comportant :a) détermination de la déformation hors-plan par diffraction de rayons X,b) détermination de la déformation dans le plan du film par diffraction de rayons X,c) détermination de la contrainte dans le film par mesure de la largeur à mi-hauteur β<sub>RC</sub> de la courbe d'oscillation (rocking curve) par diffraction de rayons X,d) calcul du coefficient de poisson v à partir de la déformation dans le plan et de la déformation hors-plan,e) calcul du module élastique E à partir de la contrainte déterminée à l'étape c) et du coefficient de poisson v déterminé à l'étape d).

Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

5.940 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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