Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Verfahren zur Steuerung eines Probentisches

EP3945540 Art A1 2. Februar 2022

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3945540
Aktenzeichen: EP21182460
Anmeldetag: 29. Juni 2021
Veröffentlichung: 2. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/147H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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