Dichtungsvorrichtung, Komponente und Lithografieeinrichtung

EP3948424 Art B1 16. Oktober 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3948424
Aktenzeichen: EP20716770
Anmeldetag: 1. April 2020
Veröffentlichung: 16. Oktober 2024
Erteilung: 16. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B5/09G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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