Blendenanordnung mit Integrierter Strommessung

EP3948921 Art A1 9. Februar 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3948921
Aktenzeichen: EP20708134
Anmeldetag: 11. März 2020
Veröffentlichung: 9. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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