Verfahren zur Messung und Korrektur von Fehlregistrierungen zwischen Schichten in einem Halbleiterbauelement und Fehlregistrierungsziele dafür
EP3948937
Art A1
9. Februar 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3948937
- Aktenzeichen
- EP19921663
- Anmeldetag
- 6. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/67G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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