Mehrschichtiges Moiré-Ziel
EP3948938
Art A1
9. Februar 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3948938
- Aktenzeichen
- EP20781915
- Anmeldetag
- 27. März 2020
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank