Laserfokussierungsmodul

EP3949691 Art A1 9. Februar 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3949691
Aktenzeichen: EP20714665
Anmeldetag: 3. April 2020
Veröffentlichung: 9. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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