Programmierbare Abscheidung von Dünnschichten eines Benutzerdefinierten Profils mit Genauigkeit im Nanometerbereich

EP3950148 Art A1 9. Februar 2022

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System, Board Of Regents Of the University Of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3950148
Aktenzeichen: EP21191641
Anmeldetag: 18. August 2014
Veröffentlichung: 9. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: B05D3/06B05D1/42B05D3/02B05D3/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Board of Regents, The University of Texas System
Board Of Regents Of the University Of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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