Vakuumpumpe und Steuervorrichtung für Vakuumpumpe

EP3951184 Art B1 26. Februar 2025

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3951184
Aktenzeichen
EP20777711
Anmeldetag
13. März 2020
Veröffentlichung
26. Februar 2025
Erteilung
26. Februar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/70
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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