Optische Etendue-Abgleichsverfahren für Extreme Uv-Messtechnik
EP3953695
Art A1
16. Februar 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3953695
- Aktenzeichen
- EP20814141
- Anmeldetag
- 29. Mai 2020
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956G01N21/88H01J37/32H05H1/00G03F1/84G03F7/20G02B5/18G02F1/11
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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