Systeme und Verfahren zur Anpassung von Vorhersagemodellen zwischen Anlagenstandorten

EP3953765 Art B1 11. Januar 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3953765
Aktenzeichen: EP20709599
Anmeldetag: 12. März 2020
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Erteilung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G06Q10/04G06Q10/06G06Q50/04G06N3/04G06N3/06G05B19/418G06N20/00G06Q10/10G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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