Verbesserungen der Atomschichtabscheidung auf Elektrodenstrukturen mit Hohem Aspekt-Verhältnis

EP3956912 Art A2 23. Februar 2022

Anmelder: California Institute of Technology, Sienza Energy Inc., Senza Energy Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3956912
Aktenzeichen: EP20791549
Anmeldetag: 15. April 2020
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01G11/24H01G11/30H01M4/74H01M4/96H01M4/02H01G11/86H01G11/68H01M4/133H01M4/1393

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: California Institute of Technology
Sienza Energy Inc.
Senza Energy Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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