Wasserstoff-Passivierung Nichtlinearer Optischer Kristalle

EP3957778 Art A1 23. Februar 2022

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3957778
Aktenzeichen
EP21200363
Anmeldetag
5. Oktober 2012
Veröffentlichung
23. Februar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/10C30B33/00C30B33/02G01N21/3563G01N21/59G01N21/95G01N21/88G01N21/956G01N21/35G01N21/84G02F1/35
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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