Metrologieverfahren zur Messung eines Belichteten Musters und Zugehörige Metrologievorrichtung

EP3958052 Art A1 23. Februar 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3958052
Aktenzeichen: EP20192002
Anmeldetag: 20. August 2020
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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