Multiskalen Physikalische Ätzmodellierung und Verfahren dafür

EP3961473 Art A1 2. März 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3961473
Aktenzeichen: EP20193506
Anmeldetag: 29. August 2020
Veröffentlichung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G06F30/398H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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