Ätzverfahren und Lichtempfindliche Harzzusammensetzung

EP3961676 Art B1 22. Januar 2025

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3961676
Aktenzeichen: EP21192215
Anmeldetag: 19. August 2021
Veröffentlichung: 22. Januar 2025
Erteilung: 22. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/308H01L21/306G03F7/004G03F7/023G03F7/038G03F7/039G03F7/16G03F7/40G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

927 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von