Verfahren zur Herstellung eines Scandium-Aluminiumnitridtargets für Pld
EP3964603
Art B1
26. Juli 2023
Anmelder: Lam Research Corporation, Solmates B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3964603
- Aktenzeichen
- EP20194369
- Anmeldetag
- 3. September 2020
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2023
- Erteilung
- 26. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/06C23C14/28C04B35/581C04B35/626C04B35/645
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
Solmates B.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Inaday Patent B.V.
Enschede, Niederlande
Niederländische Kanzlei mit dem Versprechen, Ideen bereits innerhalb eines Werktages rechtlich abzusichern („Ieder idee, in één dag beschermd“). Standorte unter anderem in Enschede und Zwolle, arbeitet mit festen, transparenten Preisen statt klassischer Stundenabrechnung.
773
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München