Beleuchtungsanordnung und Zugehöriges Digitales Holographisches Dunkelfeld-Mikroskop

EP3964892 Art A1 9. März 2022

Anmelder: Stichting VU, ASML Netherlands B.V., Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Universiteit van Amsterdam 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3964892
Aktenzeichen: EP20193990
Anmeldetag: 2. September 2020
Veröffentlichung: 9. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03H1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting VU
ASML Netherlands B.V.
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Universiteit van Amsterdam
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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