Vorrichtung mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren

EP3966634 Art A1 16. März 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3966634
Aktenzeichen: EP20723418
Anmeldetag: 7. Mai 2020
Veröffentlichung: 16. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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