System und Verfahren zur Verzögerungszeitmessung

EP3968035 Art A1 16. März 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3968035
Aktenzeichen: EP20195860
Anmeldetag: 11. September 2020
Veröffentlichung: 16. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01R27/26G01R31/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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