Strahlungsquellenanordnung und Metrologiegerät

EP3968090 Art A1 16. März 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3968090
Aktenzeichen: EP20195746
Anmeldetag: 11. September 2020
Veröffentlichung: 16. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02F1/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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