Strukturierung eines Gate-Abstandshalters

EP3968387 Art A1 16. März 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3968387
Aktenzeichen: EP20196264
Anmeldetag: 15. September 2020
Veröffentlichung: 16. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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