Walze-Zu-Walze-Verfahren für Nanoimprint-Lithografiewerkzeuge

EP3969244 Art A2 23. März 2022

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3969244
Aktenzeichen: EP20805567
Anmeldetag: 13. Mai 2020
Veröffentlichung: 23. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: B29C35/02B29C35/08B29C64/10B29C64/20B29C64/286G03F7/20G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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