Bestimmung einer oder mehrerer Eigenschaften von Licht in einem Optischen System
EP3973277
Art A1
30. März 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3973277
- Aktenzeichen
- EP20817689
- Anmeldetag
- 2. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 30. März 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/84G01N21/88G01N21/95G01N21/01G01N21/47
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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