Wellenfrontaberrationsmessung von Extrem-Ultraviolettmaskenprüfsystemen
EP3973355
Art A1
30. März 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3973355
- Aktenzeichen
- EP20819516
- Anmeldetag
- 1. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 30. März 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/50G03F1/22G03F1/52G03F1/54G01M11/02G03F1/84G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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